半導體潔凈室溫濕度監測的重要性

潔凈室是指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數都需要進(jìn)行控制的密閉性空間。許多精密加工行業(yè)、半導體、芯片、醫學(xué)手術(shù)室、電子設備、航天、制藥、生物實(shí)驗室行業(yè)等都需要潔凈室。比如醫學(xué)行業(yè)主要是為了防止病菌、細菌、灰塵對病人手術(shù)過(guò)程中造成感染；溫濕度對于精密儀器儀表產(chǎn)品的精確程度有很大影響。

        半導體在芯片、集成電路、消費電子、通信系統等中都有應用，

        半導體制造潔凈室對溫濕度的要求一般是溫度處于22-28℃ ，濕度在30-50 RH（%）之間。潔凈室運作過(guò)程中對相對濕度環(huán)境控制尤為常見(jiàn)。因為相對濕度會(huì )對潔凈室總體表現下降有較大影響，比如加速細菌繁殖；人體舒適感不佳，人體汗液可能污染半導體產(chǎn)品；出現靜電荷；加快金屬腐蝕生銹；水汽冷凝污染半導體表面的清潔度；光刻的退化；影響光刻膠附著(zhù)能力等。

         因此，對于半導體潔凈室的溫濕度控制尤為重要?，F在的半導體潔凈室系統都會(huì )嚴格控制溫濕度、空氣潔凈度和壓力程度等，在室內安裝不同的溫濕度傳感器、壓力傳感器等，做到實(shí)時(shí)監測、實(shí)時(shí)控制。恒歌也有多款溫濕度變送器傳感器、溫濕度儀表、溫濕度記錄儀等產(chǎn)品應用于各種高精尖行業(yè)、生物實(shí)驗室、制藥車(chē)間、潔凈室的溫濕度監測。

        運用各種傳感器來(lái)對溫濕度數據進(jìn)行實(shí)時(shí)監控，但是偶爾傳感器用久了，也會(huì )發(fā)生漂移現象。因此傳感器是需要定期校準的。恒歌溫濕度校準儀表具有操作方便、便攜、多功能、高精度、多種測量/數據輸出模式等優(yōu)點(diǎn)，成為工業(yè)現場(chǎng)、實(shí)驗室、儀表制造常用的計量校準工具。

        不同的潔凈室對于溫濕度的要求是不同的，主要是根據加工使用的產(chǎn)品本身的特性來(lái)考量。但是有一點(diǎn)是可以肯定的，溫濕度不管在任何行業(yè)，作為一個(gè)環(huán)境因素發(fā)揮著(zhù)重要的影響力。我們總是運用各種手段進(jìn)行溫濕度數據監控，以便達到我們的理想狀態(tài)。